半導(dǎo)體濕法清洗機(jī)常用什么流量計(jì)

半導(dǎo)體濕法清洗機(jī)常用?超聲波流量計(jì)?和?質(zhì)量流量計(jì)?，具體選擇需結(jié)合工藝需求：

法米特超聲波流量計(jì)

?應(yīng)用場(chǎng)景?：適用于清洗液含腐蝕性化學(xué)品的場(chǎng)景，需具備耐高溫（80℃以下）和耐腐蝕性，通常采用不銹鋼或特殊合金材質(zhì)。 ?

?技術(shù)特點(diǎn)?：通過夾鉗式安裝方式實(shí)現(xiàn)快速拆裝，支持自動(dòng)化集成，可實(shí)時(shí)監(jiān)控流量波動(dòng)以確保清洗精度。 ?

法米特質(zhì)量流量計(jì)

?應(yīng)用場(chǎng)景?：在氣體輸送環(huán)節(jié)（如H?O?、HF等化學(xué)氣體）中，需精確控制流量偏差≤±0.2%以避免工藝失效。 ?

?技術(shù)特點(diǎn)?：采用AI算法優(yōu)化參數(shù)，與DCS系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程校準(zhǔn)，支持高溫（300℃）和腐蝕性氣體環(huán)境。 ?

選型建議

?介質(zhì)特性?：確認(rèn)清洗液/氣體成分、溫度范圍（如≤80℃或＞300℃）及腐蝕性。

?精度需求?：晶圓加工需±0.2%精度，封裝測(cè)試可接受±1%精度。

?安裝方式?：優(yōu)先選擇模塊化設(shè)計(jì)（如即插即用傳感器），減少停機(jī)時(shí)間。