哪些流量計(jì)適用于半導(dǎo)體行業(yè)呢

半導(dǎo)體行業(yè)主要使用?氣體質(zhì)量流量計(jì)?和?電磁流量計(jì)?，具體選擇需根據(jù)工藝場(chǎng)景和介質(zhì)特性決定：

法米特氣體質(zhì)量流量計(jì)

適用于晶圓加工、離子注入、真空封裝等工藝，需高精度控制氣體流量以確保工藝穩(wěn)定性。例如：

?濕法蝕刻工藝?：精確控制HF、H?O?等化學(xué)氣體的流量，避免蝕刻不足或過(guò)蝕。 ?

?離子注入工藝?：監(jiān)測(cè)Ar等惰性氣體流量，維持離子源穩(wěn)定性。 ?

?真空封裝測(cè)試?：配合壓力傳感器實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)補(bǔ)償，防止外部氣體滲入導(dǎo)致氧化失效。 ?

法米特電磁流量計(jì)

在晶圓級(jí)封裝等場(chǎng)景中，電磁流量計(jì)可監(jiān)測(cè)N?保護(hù)氣體等流體，但其應(yīng)用更多集中在氣體質(zhì)量流量計(jì)的上下游工藝環(huán)節(jié)。